真空扩散焊是一种固态连接方法，是在一定温度和压力下，使待焊表面发生微小的塑性变形实现大面积的紧密接触，并经一定时间的保温，通过接触面间原子的互扩散及界面迁移从而实现零件的冶金结合。扩散焊大致可分为三个阶段：第一阶段为初始塑性变形阶段。

在高温和压力下，粗糙表面的微观凸起首先接触，并发生塑性变形，实际接触面积大大增加，并伴随表面附着层和氧化膜的破碎，使界面实现紧密接触，形成大量金属键，为原子的扩散提供条件。第二阶段为界面原子的互扩散和迁移。在连接温度下，原子处于较高的激活状态，待焊表面变形形成的大量空位、位错和晶格畸变等缺陷，使得原子扩散系数大大增加。

此外，此阶段还伴随着再结晶的发生，以实现更加牢固的冶金结合和界面孔洞的收缩及消失。第三阶段为界面及孔洞的消失。该阶段原子继续扩散，最终使原始界面和孔洞完全消失，达到良好的冶金结合。其优点可归纳为以下几点：

(1) 接头性能优异。扩散焊接头强度高，真空密封性好，质量稳定。对于同质材料，焊接接头的微观组织及性能与母材相似，且母材在焊后其物理、化学性能基本不发生改变。

(2 )焊接变形小。扩散连接是一种固相连接技术，焊接过程中没有金属的熔化和凝固，且所施加的压力一般较低，能很好的抑制宏观变形的产生，保证零件的高精度尺寸和几何形状。

(3) 可连接其它方法难以焊接的材料，比如低塑性或高熔点的同质材料，容易产生金属间化合物的异质材料，或者是金属与非金属等，扩散连接都具有很大的优势。

(4) 可实现大面积连接。对于大尺寸截面，扩散连接时压力均匀分布于整个界面上，实现其良好接触，从而达到有效连接。

(5) 焊接过程安全、整洁、无污染，整个焊接过程没有飞溅、辐射等有害物质，且焊接过程易于实现自动化控制。