扩散焊接时，必须保证连接面及连接的金属不受空气影响，必须在真空或惰性气体介质中进行。最常用的方法是真空扩散焊接。真空扩散焊接包括高频、辐射、接触电阻、可以通过电子束及辉光放电等方法对工件进行局部或整体加热；工业生产中应用的扩散焊接设备主要采用感应和辐射加热的方法。

扩散焊接设备由真空室、真空系统、加热系统、加压系统、温度和真空度的检测及控制装置等组成。任何加热方式的扩散焊接设备主要由以下几个部分组成：

①真空室及真空系统

真空室越大，要想达到和维持一定的真空度，对所需真空系统的要求就越高。真空室必须有由耐高温材料包围的均匀加热区域，才能稳定地维持设定的温度。真空室外壳需要冷却。真空系统一般是扩散泵和机械泵。由。机械泵只能达到1.33。×10-3Pa的真空度，添加扩散泵可达到1.33×10-4～1.33×10-6Pa的真空度可以满足材料扩散焊接的要求。真空度越高，越有利于被焊材料表面杂质和氧化物的分解和蒸发，促进界面扩散顺利进行。但真空度越高，抽真空时间越长。根据真空度，低真空（<1.33 10-2Pa）、可分为中真空（1.33 10-3~1.33）×10-4 Pa），高真空（>1.33 10-5 Pa）。

②加热系统

一般由感应线圈和高频电源组成。根据不同的加热要求，辐射加热可以选择钨、钼或石墨作为加热体，经过高温辐射对工件进行加热。根据加热方式分为感应加热、辐射加热、接触加热等。

③加压体系

真空扩散焊接过程一般要施加一定的压力。由于高温下材料的屈服强度较低，为了避免构件的整体变形，加压只会在接触面产生微观的局部塑性变形。扩散焊接施加的压力较小，压力强度可以在1~100MPa范围内变化，只有在材料的高温塑性变形抗力较大、加工表面较粗糙或扩散焊接温度较低时，才会使用较高的压力，目前主要采用液压和机械加压系统。

④测量和控制系统

目前应用的真空扩散焊接机都配备了温度、压力、真空度和时间的控制系统。温度可以在20~2300℃进行测量和控制，温度控制的精度为±（5~10）℃。压力的测量和控制一般通过压力传感器进行。

⑤水冷系统

一般通过水循环系统冷却。扩散焊接设备在启动前要连接水冷循环。扩散焊接设备种类繁多。