扩散焊必须在真空或惰性气体介质中进行，以免连接到连接表面的金属受到空气的影响。真空扩散焊是最常见的方法。真空扩散焊包括高频、辐射、接触电阻、电子束、可以使用辉光放电等方法局部或整体加热工件，工业生产中使用的扩散焊接设备主要采用感应加热和辐射加热的方法。

扩散焊接设备由真空室、真空系统、加热系统、加压系统、温度及真空检测与控制装置组成。任意加热方式的扩散焊接装置主要由以下部分组成：

①真空室及真空系统

真空室越大，对实现和维持一定真空度所需的真空系统的要求就越高。真空室内需要由耐高温材料包围的均匀加热区域。为了保持设定温度的稳定性，真空室外壳需要冷却。真空系统通常由扩散泵和机械泵组成。机械泵只能达到1.33。×在10-3Pa真空度下添加扩散泵是否可以达到1.33？0-4～1.33×10-6Pa的真空度可以满足材料扩散焊的要求，真空度越高，越有利于焊接材料表面杂质和氧化物的分解和蒸发，促进界面的顺利扩散，但真空度越高，抽真空时间越长，根据真空度的不同，低真空（<1.33？10-2Pa）和中真空（1.33？10-3~1.33？×10-4Pa），高真空（>1.33？10-5Pa）。真空扩散焊接加工原理图片大全集

②加热系统

一般由感应线圈和高频电源组成，根据不同的加热要求，可以将钨、钼或石墨作为加热元件进行辐射加热，通过高温辐射对工件进行加热，根据加热方式可分为感应加热、辐射加热、接触加热等。

③增压系统

一般来说，扩散焊接时必须施加一定的压力。在高温下，材料的屈服强度相对较低。为了避免整个零件的变形，加压只会导致接触表面的微小部分塑性变形。扩散焊接施加的压力很小，压力可以在1-100MPa之间变化。只有在的高温塑性变形抗力大、加工表面粗糙或扩散焊接温度低的情况下，才需要施加更高的压力。目前主要采用液压和机械增压系统。

④测量和控制系统

目前使用的扩散焊机包括温度、压力、真空度和时间控制系统。可以测量和控制20至2300℃的温度，温度控制的精度可以在±（5至10）℃以内。压力测量和控制通常由压力传感器进行。真空扩散焊接加工原理图片大全集

⑤水冷却系统

冷却一般由水循环系统进行。在开始扩散焊接设备之前，必须连接水冷循环。扩散焊接设备有多种。

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