真空沉积设备由许多精密零件组成，这些零件是通过许多加工工艺制成的，如焊接、研磨、车削、刨削、镗孔、铣削等工艺。由于这些任务，设备部件的表面不可避免地会受到加工带来的油脂、油污、金属屑、焊剂、抛光膏、汗痕等污染物的污染。这些污染物在真空条件下容易挥发，从而影响设备的最终真空度。真空扩散焊接加工原理图片高清视频

此外，这些机械过程带来的真空污染物在大气压环境中吸附了大量气体，在真空状态下，这些先前吸附的气体也会再次释放，成为限制真空系统最终真空度的主要因素。因此，在组装真空沉积机零件之前，必须清除污染物。

在使用真空设备的过程中，其部件也可能受到污染。然而，这种污染源主要由两个因素引起：使用条件和真空泵。真空扩散焊接加工原理图片高清视频

1.真空计的灯丝在高温条件下蒸发，会导致陶瓷绝缘体上形成薄膜，破坏其绝缘强度，对其测量精度有一定影响；

2.由于高温蒸发，真空中电子枪灯丝附近的表面会形成金属膜；真空扩散焊接加工原理图片高清视频

3.由于工件溅射，离子束刻蚀设备内壁可能被飞溅物污染；

4.真空蒸发镀膜设备的内壁会被其蒸发目标材料污染；

5.经常使用真空干燥系统，可能会被蒸发的物质污染；

6.真空沉积设备中的扩散泵油、机械泵油等是污染的主要来源。涂布机工作很长时间后，设备内部可能会形成油膜。

综上所述，设备的真空卫生涉及真空设备、真空系统、真空工艺生产等方面和环节，以及真空沉积设备本身和特殊真空工艺对使用条件的要求。因此，真空污染是一个值得关注的问题，因为这些污染会影响设备的性能，因此应注意定期或随时清洁。